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漏氣的定義為氣體由真空系統的外部經由漏氣的途徑進入真空系統的內部即為漏氣。據此定義則任何真空系統均有漏氣，實際應用時并不以此定義來決定真空系統有無漏氣實際應用時并不以此定義來決定真空系統有無漏氣。

真空系統不漏氣的條件

真空系統既然不可能絕對不漏氣，但是在符合以下條件的但是在符合以下條件的情況可視為不漏氣：真空系統最終壓力真空系統最終壓力（ultiltimatte pressure）可以達到可以達到ù真空系統的操作壓力范圍（operational pressure rangerange）在合理的時間內可以達到并維持在合理的時間內可以達到并維持

漏氣的途徑

漏氣的定義所稱的氣體由真空系統外部進入真空系統內部的途徑應與組成真空系統各部分的材料及其製造加工有關。

主要包括有：

材料製造加工

小孔

裂縫

焊接道的裂痕

材料加工的紋理

材料本身的性質

多孔性材料的微孔

分子或晶體間隙的滲透

判定漏氣的方法

常用簡單判定假漏與真漏的方法系將真空系統停止抽氣常用簡單判定假漏與真漏的方法系將真空系統停止抽氣，亦即將抽氣的真空幫浦至真空系統間的隔斷閥（isolation valvevalve）關閉。

測漏儀找漏-氦氣測漏儀

氦氣測漏儀氦氣測漏儀（helium leak detectorhelium leak detector）為目前最普遍應用為目前最普遍應用的測漏儀。實際上氦氣測漏儀即為一小型氣體質譜儀（gas mass spectrometer）而專門測定氦氣者。

因其為質譜儀，必須操作在高真空范圍，故需要有真空幫浦維持儀器的高真空。傳統的氦氣測漏儀用小型擴散幫浦及其前段幫浦抽高真空，因為使用的場地可能并無冷卻水源，故其冷卻用氣冷式。

因此必須用液態氮以防幫浦的油蒸氣回流至質譜儀。新式的氦氣測漏儀則用渦輪分子幫浦及其前段幫浦抽高真空氦氣測漏儀則用渦輪分子幫浦及其前段幫浦抽高真空故無油蒸氣回流的問題。

應注意此種新式的氦氣測漏儀若用于有污染性的真空系統測漏時必須防止渦輪分子幫浦被污染渦輪分子幫浦的葉片若被漏時必須防止渦輪分子幫浦被污染渦輪分子幫浦的葉片若被污染其清潔頗困難，若未清潔而繼續使用會使幫浦損壞。