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氦氣是為無色無味，不可燃氣體，而高純氦氣是一種無色、無味、無毒的不燃燒的儲存于氣瓶中的高壓氣體。通常氦氣被用于超低溫研究、氣相分析、焊接、探漏、化學氣相淀積、晶體生長、等離子干刻、特種混合氣等。今天中鑫瑞遠小編為大家介紹一下氦氣的新用途：微小化氦氣電漿放射光譜應用于氣相層析偵測器研制的作用。

電漿是氣體激發、離子化等反應的最好能量來源之一，當氣體受到激發或離子化時，會產生光譜和電流上的訊號變化，因此可以應用于氣體的偵測。微小化的電漿裝置可以減少電力和氣體的消耗，恰好適用在微小化快速分析用氣相層析儀的偵測器發展。為了達到低偵測下限，并且可以定性測量各種樣品和具備廣泛偵測的能力，因此本研究使用直徑50μm鎢絲切面相距50μm做為電極，在玻璃基板上自行組裝出微小電漿氣體偵測器，在常壓的氦氣中，使用±950V、2kHz的三角波形電源，搭配22pF高壓陶瓷電容限制電漿電流，電漿本身體積大約0.1nL，消耗功率大約0.3mW，有效解決一般大電漿裝置散熱的問題和減少電極蝕刻速率，并且足以產生穩定電漿之電場梯度；在本實驗當中以成功的利用686nm的F原子光譜、837nm的Cl原子光譜和827nm的Br原子光譜和776nm的氧原子自由基光譜，定性和定量測量混合有機氣體，兼具微小、省電、穩定、耐用、定性與定量分析的功能，在本研究的測試系統中，初步偵測極限已達到數十pg范圍，在微小氣體偵測器的應用上，本研究的設計提供一種新穎而高功能的選擇。

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