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四氟化碳
四氟化碳
產(chǎn)品分類： 四氟化碳
產(chǎn)品名稱：四氟化碳 四氟甲垸
化學(xué)式：CF4
純度：99.999%（5N）
包裝：鋼質(zhì)無(wú)縫氣瓶
CAS:75-73-0
分子量：88
熔點(diǎn):-184℃
產(chǎn)品詳情
氣體說(shuō)明
四氟化碳，又稱四氟甲垸。無(wú)色，無(wú)味，無(wú)嗅氣體。不溶于水，常壓下25℃時(shí)為0.0015，溶于氯仿和苯。本品無(wú)毒、不燃。高濃度時(shí)有麻醉作用。其高純氣及其配高純氧氣的混合氣，是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子蝕刻氣體，Chemicalbook也可作為低溫制冷劑、低溫絕緣介質(zhì)。化學(xué)穩(wěn)定性及熱穩(wěn)定性均好，對(duì)許多試劑呈惰性，在1000℃下不水解。常溫下不與銅、鎳和鎢反應(yīng)。由于C-F鍵的化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng),因此以CF4為代表的全氟烴可認(rèn)為是基本無(wú)毒的。
主要用途
四氟化碳是目前微電子工業(yè)中用量最大的等離子體蝕刻氣體，廣泛用于硅、二氧化硅、氮化硅、磷硅玻璃及鎢等薄膜材料的蝕刻，在電子器件表面清洗、太陽(yáng)能電池的生產(chǎn)、激光技術(shù)、低溫制冷、氣體絕緣、泄漏檢測(cè)劑、控制宇宙火箭姿態(tài)、印刷電路生產(chǎn)中的去污劑、潤(rùn)滑劑及制動(dòng)液等方面也有大量應(yīng)用。由于化學(xué)穩(wěn)定性極強(qiáng)，CF4還可用于金屬冶煉和塑料行業(yè)等。
儲(chǔ)存及注意事項(xiàng)
儲(chǔ)存于陰涼、通風(fēng)的不燃?xì)怏w專用庫(kù)房。遠(yuǎn)離火種、熱源。庫(kù)溫不宜超過(guò)30℃。應(yīng)與易（可）燃物、氧化劑分開(kāi)存放，切忌混儲(chǔ)。儲(chǔ)區(qū)應(yīng)備有泄漏應(yīng)急處理設(shè)備。
