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高純氣體的常見雜質有哪些？

常規雜質：H2, O2, N2, Ar, CO, CO2, CH4, H2O

特殊雜質：顆粒物、油份、金屬離子、同位素物質污染、亞穩態物質污染

雜質來源：原料污染、生產工藝副產物、工藝失效污染、過程污染

環境帶入：空氣組分（O2, N2, Ar, CO2），水分

生產裝置，管路，充裝裝置帶入：水分，金屬元素，顆粒物，油份

生產工藝富集

包裝污染

殘氣污染

包裝本身帶入污染：水分，金屬元素，顆粒物

分解聚合污染

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