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一、高純氧：

高純氧用于二氧化硅的化學氣相沉積;作為氧化源與產生高純水的反應劑;干法氧化;

與四氟化碳混合，用于等離子刻蝕。氧的主要用途源于它能維持生命和助燃性質;

在冶金工業中有廣泛應用。還可用于水質處理。所有的氧化反應和燃燒過程都需要氧，例如煉鋼時除硫、磷等雜質，氧和乙炔混合氣燃燒時溫度高達3500℃，用于鋼鐵的焊接和切割。玻璃制造、水泥生產、礦物焙燒、烴類加工都需要氧。液氧還用作火箭燃料，它比其他燃料更便宜。

二、高純氦：

用作氦氣球、氦氣飛艇的填充氣體，以取代其有高度可燃性的氫氣；

與高純二氧化碳和高純氮氣一起用作二氧化碳激光切割機的激光氣體；

液氦用于核磁共振成像儀的超導磁體；

跟醫用氧氣一起用于深海作業的呼吸氣體；

用作空調領域氦漏儀的檢漏氣體；

跟高純氬氣一起用作特殊焊接的保護氣體；

用作氣相色譜儀/氣質聯用儀等儀器的載氣。

三、高純氬：

高純氬在半導體工業中用作生產高純硅和鍺晶體的保護氣體；可用作系統清洗、屏蔽和增壓用的惰性氣體；在化學氣相沉積、濺射和退火等工藝中有所應用。高純氬也可作為色譜載氣。氬被廣泛用來充填弧光燈、熒光燈和電子管；焊接保護氣；在鈦、鈷和其他活性金屬的生產中用作屏蔽氣；在黑色冶金中用于吹煉特種鋼。在金屬冶煉方面，氧、氬吹煉是生產優質鋼的重要措施，每煉1t鋼的氬氣消耗量為1～3m3。此外，對鈦、鋯、鍺等特殊金屬的冶煉，以及電子工業中也需要用氬作保護氣。

四、高純氫：

氫是主要的工業原料，也是最重要的工業氣體和特種氣體，在石油化工、電子工業、冶金工業、食品加工、浮法玻璃、精細有機合成、航空航天等方面有著廣泛的應用。同時，氫也是一種理想的二次能源（二次能源是指必須由一種初級能源如太陽能、煤炭等來制取的能源）。在一般情況下，氫極易與氧結合。這種特性使其成為天然的還原劑使用于防止出現氧化的生產中。在玻璃制造的高溫加工過程及電子微芯片的制造中，在氮氣保護氣中加入氫以去除殘余的氧。在石化工業中，需加氫通過去硫和氫化裂解來提煉原油。氫的另一個重要的用途是對人造黃油、食用油、洗發精、潤滑劑、家庭清潔劑及其它產品中的脂肪氫化。由于氫的高燃料性，航天工業使用液氫作為燃料。